半導體無塵車間凈化裝修工程
來源：www.bohejianfei.cn 作者：空氣好凈化
發布時間:2021-06-25 10:49:04點擊:次
一、項目概況
項目名稱：半導體凈化車間裝修工程
項目規模：8000㎡
潔 凈 度：百級、千級、萬級、十萬級
項目地址：安徽合肥
二、設計及施工內容
項目涉及設計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風風調系統工程、車間排風系統工程、配電系統工程、工藝管道工程、給排水工程
三、設計規范及依據
業主提供的圖紙和技術文件及現楊勘察資料
《潔凈廠房設計規范》
《電子工業沽凈廠房設計規范》
《沽凈廠房施工與驗收規范》
《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》
《建筑設計防火規范》
《潔凈廠房建筑構造》
四、潔凈室系統技術參數
1、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2、平均風速：0.3－0.5m/s（百級）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風補充量是總送風量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區域，千級－30萬級用于生產制造區域
9、ESD也是半導體制造環境控制的重要內容，靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產品的良率。
五、半導體凈化車間設計及注意事項
1、半導體凈化無塵車間內部要確保塵埃粒子只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。
3、所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，凈化無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防安全報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。